1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯

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CAS No:266308-58-1

分子式:C11H18O2

外观颜色:无色或淡黄色澄清液体

技术指标:98.5%

运输编号:-

包装:1/5/10/25千克/桶

供应能力:吨级

别名:1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯;1-乙基-环戊醇甲基丙烯酸酯;甲基丙烯酸1-乙基环戊酯;1-甲基丙烯酸乙基环戊基酯;甲基丙烯酸1-乙基环戊酯 (含稳定剂MEHQ);1-乙基环戊基-1-甲基丙烯酸酯;1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯 ECPMA

产品用途:1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯、ECPMA、266308-58-1、光刻胶单体、半导体级甲基丙烯酸酯、脂环族甲基丙烯酸酯、ArF光刻胶原材料、193nm光刻胶单体、高纯度电子化学品、光刻胶成膜树脂单体、抗蚀剂中间体、高蚀刻抗性单体、感光树脂合成原料、1-乙基环戊基酯、化学放大光刻胶单体、电子级2-甲基-2-丙烯酸-1-乙基环戊酯。

 

1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯是一种关键的深紫外（DUV）光刻胶单体，主要用于合成193nm（ArF）光刻胶的成膜树脂。由于其独特的1-乙基环戊基结构，该产品在光刻过程中表现出优异的酸敏感脱保护性能，能够显著提升光刻胶的分辨率和对比度，同时为聚合物提供良好的等离子体耐蚀刻性和热稳定性，是半导体集成电路制造中不可或缺的电子化学品原料。